引言 众所周知,微透镜是应用于光电器件等广泛领域的许多光学器件的基本元件。在本文中,为了以简单的方式制造金刚石凹面微透镜,展示了一种结合旋涂工艺和随后的蚀刻的方法。首先,使用光刻在金刚石表面的光刻胶层