微透镜
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华林科纳
2021-11-25
如何通过旋涂工艺在金刚石上制造凹面微透镜呢?!
引言 众所周知,微透镜是应用于光电器件等广泛领域的许多光学器件的基本元件。在本文中,为了以简单的方式制造金刚石凹面微透镜,展示了一种结合旋涂工艺和随后的蚀刻的方法。首先,使用光刻在金刚石表面的光刻胶层