北软失效分析赵工 半导体工程师 2022-05-03 09:45摘要：声学扫描显微镜检查是塑封器件可靠性分析中一项重要的试验项目，然而声扫设备在自动识别缺陷上存在局限性会导致分层假象产生。指出了所用声